次世代の半導体露光装置に彩りを添える通気性ヒーターの革新

株式会社巴川コーポレーションが開発した通気性ヒーター部品『iCas MCT』が、今後登場予定の株式会社ニコンの半導体露光装置に採用されることが決定しました。この装置は、2026年12月に市場に出る予定で、バウハウス名付けられた新しい技術が採用されています。この採用は、巴川コーポレーションにとって初めてのことで、業界内でも注目されています。

開発の背景

半導体市場は急成長を遂げており、その需要はますます高まり続けています。しかし、同時に製造コストの低減も求められ、企業は新たな技術の導入に力を入れています。この状況の中で、半導体製造の心臓部とも言える半導体露光装置には、微細な電子回路パターンをシリコンウェハ上に精密かつ高効率で形成するための技術が必要とされています。

長年の経験から、露光装置内部ではmK（ミリケルビン）単位での高精度かつ高速な温度制御が求められます。わずかな温度の変動でもパターン形成に影響を与えるため、この精密な温度制御が非常に重要です。特に、温度応答の速さは生産性の向上やエネルギー効率の改善に直結します。

「iCas MCT」の特長

通気性ヒーター部品『iCas MCT』は、ステンレス繊維で構成された多孔質の紙状シートを発熱体として使用しています。このユニークな設計により、ヒーター部品自体に空気を通す通気性を持たせることに成功しました。この結果、加熱面に対して垂直方向に空気を流しながら、効果的に熱を加えることができます。

また、この構造により、ヒーター部品の熱容量を抑え、早い温度応答性や昇温性能を実現しました。これにより、部品の小型化や軽量化にも寄与し、半導体露光装置のさらなる高性能化を目指しています。これらの特性は、半導体製造の高い要求を満たすために非常に重要です。

未来への展望

巴川コーポレーションは、熱、電気、電磁波などをコントロールするソリューションブランド『iCas』のもと、さまざまな製品や技術の開発を進めています。『iCas MCT』の採用は、今後のエネルギー効率向上や装置性能の向上につながります。

さらに、同社は半導体製造分野を含む先端産業の発展にも貢献していくとしています。これからの技術の進化に期待が持てそうです。